日前，浙江省委人才工作领导小组发文公布2018年度浙江省领军型创新创业团队名单，共有25个团队跻身其中，晶盛机电“大尺寸半导体加工设备与工艺创新团队”榜上有名，也是我区2018年度唯一获此殊荣的团队。

　　据了解，浙江省领军型创新创业团队引育工作于2014年启动，旨在引进、培育和造就一批以领军人才为核心、以团队协作为基础、以从事创新研究和创业活动为目标，具备国际领先、国内一流水平，对浙江省产业发展有重大影响、能带来重大经济效益和社会效益的领军型创新创业团队。

　　这次入选的晶盛机电“大尺寸半导体加工设备与工艺创新团队由“省千”“省万”等专家组成，在半导体集成电路设备的研发、生产制造、工艺集成领域具有丰富经验，完成国家科技重大02专项，极大规模集成电路制造设备及成套工艺的“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制“，并成功研发截断机、滚磨机、研磨机、抛光机等半导体材料加工设备，均取得良好市场效果。

　　为加强技术领军型人才和团队的建设，蓄积行业先进技术的开发实力，晶盛机电建立了相对完善的管理体系和技术创新体系，并通过施行晶匠奖、忠诚奉献奖、绩效奖金、项目奖金、科技成果奖励、知识产权奖励、股权激励等措施，有效激发了人才团队的创新热情和创新活力，也培养了一批先进半导体加工技术的高端人才，加速推动着公司半导体材料制造设备国产化进程向纵深发展。（记者 冯楠 通讯员 梁松）